1、擴(kuò)散硅壓力變送器采用半導(dǎo)體硅作感壓元件，硅半導(dǎo)體材料具有壓阻效應(yīng)，在壓力作用下，硅晶格間隙發(fā)生變化，導(dǎo)致載流子遷移率的改變，從而引起電導(dǎo)率變化。對于半導(dǎo)體電阻體，當(dāng)機(jī)械變形時，電阻率的相對變化率遠(yuǎn)大于外形尺寸L、A的相對變化率，其電阻變化率主要是壓阻效應(yīng)造成，當(dāng)半導(dǎo)體壓阻片與彈性元件處于一體，受壓而發(fā)生同一應(yīng)變時，應(yīng)變量c與被測壓力p成正比，說明半導(dǎo)體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比，由此可測出壓力的變化。當(dāng)被測壓力(差壓)在全量程范圍內(nèi)波動時(相應(yīng)壓敏電阻變化量為△R)，變送器輸出統(tǒng)一信號為4—20mA。
2、擴(kuò)散硅壓力變送器，采用IC(集成電路)技術(shù)直接在硅膜上擴(kuò)散形成應(yīng)變測量橋路元件。因此體積可做得很小。擴(kuò)散硅壓力變送器具有精確度高，直接輸出直流信號，線性度好，適用溫度范圍廣，重量輕，體積小，結(jié)構(gòu)簡單等特點，可用于靜壓、動態(tài)壓力測量。